爱德华真空泵的使用注意事项

发表时间:2020-01-07 13:52 / 次浏览

爱德华真空泵用于抽洁净气体，但是注意不能抽有毒、易燃、易爆、腐蚀性气体或者蒸汽、化学品、溶剂及粉末等。如易燃气体、含特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等，这些气体容易使轴承失效。

爱德华真空泵进气温度需要低于50℃，否则在被抽真空室与泵进气口之间需要加冷阱，降温至低于50℃。爱德华真空泵在抽含有水蒸汽的气体时，要打开气镇阀抽气，被抽气体水蒸汽含量要求在23克/日以下。若是超过此极限，将会缩短气镇阀寿命。

爱德华真空泵出现损坏时，不可继续使用，否则会损坏真空泵系统，还有可能引发安全事故。爱德华真空泵需要安装电机保护开关，定期检查确定此泵安全接地。爱德华真空泵排气口处要接排气管，以防灰尘进入泵内。

爱德华真空泵需要在进气口处装截止阀，爱德华真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是爱德华真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装截止阀。注意不要刮碰进气口与排气口法兰，以免损坏法兰口，导致真空度上不去。

爱德华真空泵与被抽系统的管道应尽可能短而粗，管道内径一般应不小干真空泵进气口直径，以避免由干管道阻力而影响抽气速率。初次使用的爱德华真空泵还要测定极限压强，极限压强应符合标准。爱德华真空泵在长期工作的条件下，温度不应超过70度。