干式真空泵是未来行业的发展趋势。虽然现在用得不多，但除了价格高之外，也有用户对干式真空泵不太了解，看不到未来给企业带来的经济效益。小编认为干式真空泵的维护重点在于如何优化干式真空泵的选择。

　　对于这些不同类型的干式真空泵，我们渴望减小它们的物理尺寸。但这与真空泵的抽吸速率相矛盾，因为真空泵的抽吸速率与真空泵的体积成正比，并且小的物理尺寸意味着小的体积。当然，还有另一个影响真空泵抽速的重要因素，即转速。为了使小型真空泵的抽速与大型真空泵的抽速相匹配，有必要提高其转速。改变真空泵的转速有两种方法，一种是改变电源的频率，即使用变频器;二是改变变速箱的传动比。其中，采用变频器的优点是可以提供闭环控制，但在重载下容易造成转矩损失。改变变速箱的传动比是一种非常经济的方法，当然，它只能提供不可控的单速。

现在，我们可以看到有这么多不同设计的干式真空泵，每一个都有自己的特点，优点和缺点。长期以来，使用成本是影响人们选择真空泵的一个重要因素。越来越多的真空泵用户意识到真空泵运行的稳定性也应该考虑在内。因为真空泵的意外错误会降低机器的效率，影响晶圆的生产和交付时间，甚至会造成加工后的晶圆报废和机器其他部件的损坏。由于螺杆设计是单级设计，与多级泵如叶片泵、爪式泵和组合泵相比，使用的零件数量减少了60%。这使得它在未来的稳定性和维护成本方面具有很大的优势。

　　总之，如果用户认为功耗对他来说很重要，但氮气消耗对他来说不重要，那么选择内压缩螺钉是一个很好的选择。总的来说，对尾气处理的要求越来越严格，这使得今后减少氮的用量变得更加重要。如果你想简化你的库存控制，通过使用一个单一类型的泵来处理各种半导体工艺没有改变，那么外部压缩螺钉是你的最佳选择。

　　在真空泵的维护中，应注意以下几点：

　　(1)泵的制造精度高，如果不需要，就不必拆卸，以免因维护不当而降低精度。当然，维修工人应该提高他们的技术水平。当泵的技术性能恶化时，应及时修复，最好定期维护(一年)。

　　维护期间，从真空系统中取出泵后，开始检查并泵出。如果确认必须拆下泵进行修理，按照以下步骤取出：处的保护盖，拆下三角带、大皮带和排气口，松开各进气口处的压盖，待油清洗干净后，拆下保护盖和油封室，取出主轴(不要弄断链条)，然后取出左右座。