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真空镀膜中常用的真空泵类型

发表时间:2020-12-03 17:50 / 次浏览

         在塑料真空镀膜中我们常用油封式旋转机械真空泵做为前级泵。油封式旋转机械真空泵是容积泵的一种。我们知道一定质量的气体在状态变化过程中如果温度保持不变,体积受到压缩时容积变小,压强增大,进行排气。相反,当体积膨胀时容积变大,压强减小,进行抽气。这种利用密闭容器容积周期变化而达到抽气作用的泵叫容积真空泵。
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                    
        旋转式机械真空泵既能够独立工作获得0.13pa(10-3Torr)的低真空,又能够做为各种高真空泵的前级泵。因为它用真空泵油来润滑并起密封作用,所以叫做油封式旋转机械真空泵。旋转式机械真空泵由于运动件结构的不同,有不同的型式,常用的有旋片式真空泵。旋片式真空泵易于装配、调试,适用于中、小抽速。目前容积泵除旋片式真空泵外,还有滑阀式机械泵、罗茨式真空泵等。不同类型的容积真空泵抽气性能差别很大。
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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